54家中国MEMS产业链领军企业(最新权威名单)
据此前知名咨询机构Yole的MEMS产业报告,介绍中国MEMS产业链,列举了50多家中国MEMS传感器产业链上的领军公司,这些公司是中国MEMS产业的中流砥柱,这些企业涵盖MEMS芯片制造、设计、设备等全产业链的头部公司,以下为这份名单里的国产MEMS公司:
罕王微电子(辽宁)有限公司
MEMS产业链:IDM、芯片代工
总部:沈阳
罕王微电子成立于2011年,是罕王集团控股子公司,罕王集团主要业务为采矿业。
2019年2月,罕王微电子MEMS传感器芯片后端工艺生产线正式启动,成为国内首条纯MEMS规模化生产线,填补了国内产业空白。罕王微电子拥有以中国总部为中心,美国、意大利、奥地利为分部的全球化MEMS研发架构,以“IDM+定制化代工”为运营模式,提供全品类MEMS芯片的可量产化设计服务和定制化代工服务。该生产线可实现8英寸晶圆年产能18万片,MEMS芯片年产能15亿颗,达产后年预期年产值50亿元。
罕王微机电高科技产业园区在罕王微电子MEMS项目一期达产的基础上,按照中短期规划建设MEMS二期项目,投产后新增18万片晶圆年产能;按照中长期规划新增一条年产能36万片的8英寸CMOS晶圆生产线。按照长期规划将实现除生产MEMS传感器外,开拓模拟和数字混合集成电路IC市场,实现12英寸晶圆年产能120万片。
北京赛微电子股份有限公司
MEMS产业链:芯片代工
总部:北京
北京赛微电子股份有限公司成立于2008年5月,于2015年5月在深圳证券交易所创业板挂牌上市。
赛微电子是全球领先、国际化运营的高端集成电路芯片晶圆制造厂商,也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业芯片晶圆制造商。公司在国内外拥有多座中试平台及量产工厂,业务遍及全球,服务客户包括硅光子、激光雷达、运动捕捉、光刻机、DNA/RNA测序、高频通信、AI计算、ICT、红外热成像、计算机网络及系统、社交网络、新型医疗设备厂商以及各细分行业的领先企业,涉及产品范围覆盖了通信计算、生物医疗、工业汽车、消费电子等诸多应用领域。公司同时正在打造先进的晶圆级封装测试能力,致力于为客户提供从工艺开发、晶圆制造到封装测试的系统化高端制造服务,努力发展成一家立足本土、国际化经营的知名半导体制造领军企业。近年来,公司与TELEDYNE、台积电(TSMC)、X-FAB、索尼等厂商一直保持在MEMS芯片纯代工第一梯队,2019年至2023年,公司在全球MEMS纯代工厂商排名中均位居首位。2023年,公司在全球MEMS厂商综合排名中位居第27位。
华芯拓远(天津)科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:天津
华芯是一家拥有高性能MEMS惯性芯片设计和制造能力的硬科技公司,为客户提供高性能MEMS惯性传感器芯片、惯导模组及组合导航行业解决方案。
公司拥有国内最强的高性能MEMS陀螺设计团队、ASIC设计团队和导航模组研发团队,拥有超过100项自主知识产权,在天津设有芯片设计中心和惯导研发中心,建设了芯片封测产线、惯导生产和标定产线。
华芯自主研发的高性能MEMS陀螺仪芯片和加速度计芯片,以及高性能惯性导航模组和组合导航模组产品,广泛应用于自动驾驶乘用车/商用车,水下无人装备等诸多领域。目前,华芯与国内主流的主机厂、造车新势力、自动驾驶解决方案厂商已建立多项合作关系,未来,华芯将为行业领先的汽车品牌大批量交付车规级高精度定位产品。
美新半导体(天津)有限公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:天津
美新半导体于1999年成立,拥有二十多年的MEMS传感器研发及生产技术积累,在中国、欧洲和美国设有生产和研发机构,销售网络遍及亚太、欧洲、美洲和非洲等地区,美新是中国最早的IDM模式惯性传感器供应商之一。
美新大规模稳定量产的产品有全球独有的热式加速度计、电容式加速度计、AMR地磁传感器、低功耗霍尔开关和六轴IMU等产品,广泛应用于汽车、工业、医疗、可穿、智能家居、消费电子等领域。
诺思(天津)微系统有限责任公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:天津
诺思微成立于2011年,总部设于天津,是中国首家FBAR生产企业,公司从事无线设备射频前端MEMS滤波芯片、模块、应用方案的设计、研发、制造和销售,核心产品具有国际领先水平。
北方广微科技有限公司(原北京广微积电)
MEMS产业链:IDM企业
总部:北京
北方广微成立于2006年7月,隶属于北方夜视科技集团,专业从事非制冷红外热成像系统核心控制部件--非制冷型红外焦平面探测器及机芯组件研制与生产。
2008年,北方广微在西安建立了国内第一条非制冷红外探测器MEMS生产线。2009年,北方广微第一款45um非制冷红外探测器研发成功,是我国第一个自主研发出非制红外探测器的企业,填补了我国在非制冷红外探测器领域的空白。公司创造了多项国内第一,当时是我国非制冷红外行业的领军企业。
北方华创科技集团股份有限公司
MEMS产业链:制造装备企业
总部:北京
北方华创成立于2001年9月,2010年在深圳证券交易所上市,是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业,北方华创主营半导体装备、真空及锂电装备、精密元器件业务,为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有六大研发生产基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
在MEMS领域,北方华创提供多种MEMS芯片制造设备。
歌尔微电子股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:青岛
歌尔微成立于2017年10月,是歌尔股份体系内唯一从事MEMS器件及微系统模组研发、生产与销售的企业。2024年9月,歌尔股份披露,拟分拆所属子公司歌尔微电子股份有限公司至香港联交所主板上市。
自2020年以来,歌尔微(歌尔股份)一直是全球最大的MEMS麦克风企业,歌尔微亦长期位居中国半导体MEMS十强榜单第一。
共达电声股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:淮坊
共达电声股份有限公司成立于2001年4月,2012年在深圳证券交易所上市,公司主要研发、生产、销售微型电声、智能声学元器件、智能车载模组及部分终端产品,为客户提供专业系统的整体解决方案,在智能汽车、智能手机、智能穿戴、智能家居四大领域全面发展,致力成为全球卓越的电声科技引领者。
青岛智腾微电子有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:青岛
青岛智腾微电子有限公司成立于 2002 年,国家高新技术企业,专注于厚膜混合集成电路、高端传感器、电源模块、惯导系统核心组件等产品的设计研发和生产制造,能够提供元器件、板级电路、电单机等全国产化解决方案,拥有从芯片设计、模块封装、系统集成的自主可控和工程化能力。
青岛智腾微电子有限公司荣获“全国硬科技企业”、“山东省瞪羚企业”、“山东省专精特新企业”等多项荣誉称号,承建“青岛市惯性导航技术创新中心”、“青岛市高精度智能传感工程研究中心”、“青岛市高温厚膜集成电路企业技术中心”,以及“青岛市高温半导体重点实验室”、“青岛市高温定向传感器创新应用实验室”。
北京智芯传感科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:北京
智芯传感成立于 2018 年 9 月,是一家以行业资深 MEMS研发团队为技术依托,以京津冀国家技术创新中心成果转化机制为平台,致力于MEMS 传感器研发、生产及销售的高新技术企业。智芯传感布局 MEMS传感器和高精度电子雷管两条业务线,于 2021 年成立全资子公司安徽京芯传感科技有限公司,年产能超5000万颗。
安徽芯动联科微系统股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:蚌埠
芯动联科成立于2012年,是一家高性能MEMS惯性传感器厂商,芯动联科基于半导体的行业积累,独创的微纳结构设计,采纳先进的MEMS工艺,特有的封装方案及现代化的管理模式和无以伦比的人才积累,融合集成电路与传统高端惯性行业,促进惯性传感器、压力传感器等传感器向智能化、微型化、易用化、本土化、IC化发展。
南京高华科技股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:南京
高华科技以研制高可靠MEMS类传感器、惯性测量单元(IMU)、智能传感器,及工业互联网系统工程为主导的国家级高新技术企业。
拥有江苏省高性能MEMS惯性传感器工程研究中心、江苏省企业技术中心、江苏省企业研究生工作站、南京市MEMS传感工程技术研究中心、南京市MEMS智能装置传感技术研究中心,与北京大学微米纳米加工技术国家级实验室共建传感器技术联合实验室,中国宝武战略合作伙伴,中国电子学会会员单位,中国敏感器件协会理事单位,铁道机车与动车理事会理事单位等。
上海巨哥科技股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:上海
巨哥科技自主研发光电仪器及核心芯片、智能算法和软件,获上海市科技进步一等奖。团队来自普林斯顿、清华、中科大、浙大、中科院等,巨哥科技提供全波段红外光电产品:用于电力、轨交、冶金、汽车等行业设备状态和过程监控的热像仪,用于石化等行业的气体泄漏成像仪,用于激光、半导体等先进制造领域的短波相机,用于石化、粮油、制药等领域成分分析的光谱仪等,并为材料工程、生命科学等前沿研究提供科学级光电仪器。
上海芯物科技有限公司
MEMS产业链:芯片代工
总部:上海
国家智能传感器创新中心是由工信部于2018年6月批复成立的一家以智能传感器关键共性技术研发和中试为主要目标的国家级制造业创新中心,其运营主体为上海芯物科技有限公司。芯物科技建设了国内首条以国产设备为主的12英寸先进传感器中试线,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力。
上海微技术工业研究院
MEMS产业链:芯片代工
总部:上海
上海工研院(全称“上海微技术工业研究院”,SITRI)成立于2013年,由上海市科委、嘉定区政府和新微集团发起共建,通过“超越摩尔”集成电路领域全流程中试和关键共性技术研发,为合作伙伴与创新团队提供全面技术支持和产业孵化服务,已累计申请专利突破1000件,培育孵化公司20余家,总估值超过150亿元。
上海工研院于2017年建成全国首条8英寸研发中试线,洁净室面积近5000平方米,硬件投入超10亿元,拥有主流设备150多台,可提供智能传感器、硅基光子学、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术,为产品设计公司提供高效的工艺研发和中试服务,为装备和材料公司提供测试验证服务。研发中试线是上海工研院高效运转的“发动机”
上海华虹宏力半导体制造有限公司
MEMS产业链:芯片代工
总部:上海
华虹宏力是全球领先的特色工艺纯是圆代工企业,秉持“8英寸+12英寸”、先进“特色IC+Power Discete”的发展战路、为客户提供多元化的晶圆代工及配套服务。本公司专注于嵌入式/独立式非易失性存储器、功率器件、模拟与电源管理和逻辑与射频等特色工艺技术的持续创新,有力支持新能源汽车、绿色能源、物联网等新兴领域应用。本公司是华虹集团的一员,而华虹集团是中国拥有“8英寸+12英寸”先进集成电路制造主流工艺技术的产业集团。
本公司在上海金桥和张江建有三座8英寸品圆厂,另在无锡高新技术产业开发区内建有两座全球领先的12英寸特色工艺品圆厂,其中之一是全球第一条12英寸功率器件代工生产线。
苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司
MEMS产业链:芯片代工
总部:苏州
苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 (苏州MEMS中试量产服务平台),是国内领先的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地,MEMS工艺集成创新和工程化方面成果显著,具有卓越的组织管理能力。
平台现有3000平方米高标准洁净厂房,总计超过200台MEMS专用设备。主要开展包括硅基MEMS以及铌酸锂等产品工艺研发、加工制造、中试量产等多项专业服务。自2014年8月产品通线以来,导入客户一百余家,累计支撑客户完成400余颗项目开发,涉及硅麦克风、微镜、滤波器、光通信器件、PZT压电产品、喷墨打印头、压力传感器、生物芯片、温度传感器、气体传感器、流量传感器、温度传感器等项目,实现单月产出5000片晶圆等一系列辉煌成绩。公司营收逐年增长,已成为国内MEMS代工的中坚力量。
苏州慧闻纳米科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:苏州
慧闻科技是一家从事智能传感器研发、生产和销售,同时提供人工嗅觉与压感解决方案的国家级高新技术企业。公司于2014年由具有多年传感器研发和应用经验的科学家团队在苏州成立,目前已研发出针对多种有毒有害气体(如甲醛、酒精、氨气、一氧化碳、氮氧化物、硫化氢、甲烷、TVOC等)的传感器芯片、各类压力传感器及相应的检测模块,产品被广泛应用于工业安全,智能家居家电,环境监测,品质监测,健康医疗等领域。慧闻科技建成有MEMS气体传感器、热电堆传感器、柔性压力传感器、红外CO2传感器模组、激光PM2.5传感器等多种类型传感器生产线并实现量产。
苏州汉天下电子有限公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:苏州
苏州汉天下电子有限公司的研发立项始于2012年的贵州中科汉天下电子有限公司,专注于射频前端芯片及模组的设计、研发、生产和销售。2019年7月,受苏州整体纳米技术产业生态圈的吸引,汉天下电子作为重大招商引资项目整体落户苏州工业园区,更名为苏州汉天下电子有限公司。公司核心团队来自清华大学、上海交通大学,东南大学,以及美国麻省大学、美国辛辛那提大学,美国印地安那大学,美国乔治华盛顿大学等海内外高等学府,在射频前端领域深耕20年以上,具有丰富的科研创新能力和海内外知名企业的研发管理经验。
2024年10月,汉天下的MEMS滤波器芯片研发生产项目正式通线,标志着汉天下加速迈入“委外晶圆厂代工+自建晶圆厂”双轮驱动模式。MEMS滤波器芯片研发生产项目总投资14亿元,其中一期投资8亿元,建设一条高性能体声波滤波器芯片制造和封装线,具备年产9.6亿颗体声波滤波器芯片能力;二期扩产后滤波器年产量翻倍,并具备应用于对应规模的射频模组封测能力。
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:苏州
苏州敏芯微电子技术股份有限公司创立于2007年,主导推动了中国MEMS产业链构建,被赞誉为产业拓荒者。
2020年8月登陆上海证券交易所科创板(简称“敏芯股份” 代码688286),为MEMS芯片第一股,是目前中国屈指可数掌握多品类MEMS芯片设计和制造工艺能力的企业。目前已拥有4家子公司,是MEMS全产业链研发与本土化的践行者,多年蝉联“中国半导体MEMS十强企业”、“中国传感器公司TOP10”、“中国IC设计成就奖”等一批荣誉。
芯联集成电路制造股份有限公司
MEMS产业链:芯片代工
总部:绍兴
芯联集成电路制造股份有限公司成立于2018年3月, 注册资本70.537亿元人民币,总部位于浙江绍兴。
芯联集成主要从事 MEMS、IGBT、MOSFET、模拟IC、MCU 的研发、生产、销售,为汽车、新能源、工控、家电等领域提供一站式芯片系统代工方案。公司是国内领先的具备车规级IGBT/SiC芯片及模组和数模混合高压模拟芯片生产能力的代工企业,拥有种类完整、技术先进的车规级高质量功率器件和功率IC研发及量产平台,也是国内重要的车规和高端工业控制芯片及模组制造基地。同时,芯联集成还是国内规模、技术领先的MEMS晶圆代工厂。
芯联集成的业务面向全球,除了浙江绍兴总部,公司在中国上海、深圳、合肥,日本东京、欧洲瑞士都设有销售和市场办公室。
华润微电子有限公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:无锡
华润微电子有限公司是华润集团旗下负责微电子业务投资、发展和经营管理的高科技企业,曾先后整合华科电子、中国华晶、上华科技等中国半导体企业,经过多年的发展及一系列整合,公司已成为中国本土具有重要影响力的综合性半导体企业,自2004年起多年被工信部评为中国电子信息百强企业。
公司于2020年2月27日登陆科创板,成为境内红筹第一股。公司是拥有芯片设计、掩模制造、晶圆制造、封装测试等全产业链一体化运营能力的IDM半导体企业,坚持以“长三角+成渝双城+大湾区”的两江三地布局,结合地域、市场和应用优势,进行资源优化配置,业务范围遍布无锡、上海、重庆、香港、东莞和深圳等地。目前公司主营业务可分为产品与方案、制造与服务两大业务板块。公司产品设计自主、制造过程可控,在分立器件及集成电路领域均已具备较强的产品技术与制造工艺能力,形成了先进的特色工艺和系列化的产品线。
无锡胜脉电子有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:无锡
无锡胜脉电子有限公司成立于2018年6月。它是一家从事MEMS压力传感器研究、开发和生产的高科技创新创业公司。公司的前身是上海森摩尔电子有限公司。公司的核心技术人员来自森萨塔、德尔福、英飞凌等高水平团队,其中不乏从事MEMS压力传感器相关工作10年以上的资深专家。
胜脉拥有 "MEMS芯片设计-ASIC设计-传感器封装-传感器质量校准-汽车传感器组件设计-传感器组件制造 "的完整核心技术链。森摩尔的传感器组件已批量应用于GWM(长城汽车)、DFM(东风汽车公司)、山西汽车以及其他合作伙伴。
上海矽睿科技股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:上海
上海矽睿科技股份有限公司(QST)成立于2012年。公司产品包括多款MEMS传感器,如六轴IMU、加速度计、环境传感器、组合传感器等;磁性传感器芯片,如磁力计等;及汽车与物联网智能模组和系统。应用市场聚焦智能手机、智能穿戴、物联网、智能制造,汽车电子,并向智慧医疗、元宇宙、与自动驾驶市场演进。
公司产品六轴IMU获中国电子信息产业发展研究院授予的2023年“中国芯”市场表现产品奖、2022“中国芯”技术创新产品奖。“单芯片集成磁传感器”项目荣获中国集成电路创新联盟举办的2021第五届“IC创新奖”成果产业化奖。此外,公司由于自身传感器平台优势与积累多年的产品研发与应用创新能力,获得了2023中国半导体MEMS十强企业;2022感知领航年度创新企业;工业与信息化部认定的2022专精特新“小巨人”企业殊荣。
苏州明皜传感科技股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:苏州
苏州明皜传感科技股份有限公司是国内MEMS传感器技术的创新者和开拓者。明皜传感主要从事MEMS传感器的研发、设计和生产,并提供相关技术服务。主要产品有:加速度传感器、陀螺仪、压力传感器和磁传感器,旨在为消费电子、汽车电子、工业自动化以及航空等领域提供所需的产品和集成方案。
明皜传感团队成员执业于半导体、MEMS业界数十年,拥有自主研发的三维MEMS-CMOS集成微机电工艺平台技术,与国内外领先的芯片代工厂建立战略合作伙伴关系,共筑MEMS器件工艺标准。
苏州明皜传感科技股份有限公司目标成为世界级传感器公司,利用传感器芯片和系统集成技术,提供强大的智能传感方案。明皜传感携您感知世界,实现智能传感生活。
深迪半导体(绍兴)有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:绍兴
深迪成立于2008年,是中国首家研发设计商用消费级和汽车级微机电系统(MEMS)陀螺仪系列惯性传感器的公司。在过往的十五年间,深迪积极自研创新,其突破性的新一代基于微机电系统的陀螺仪惯性传感器,为国产化商用MEMS陀螺仪的新时代开创先河。产品主要应用于IOT,手机智能终端,智能家居,人工智能,工业和智能驾舱等领域,并为客户提供增值算法服务。
苏州纳芯微电子股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:苏州
纳芯微电子是高性能高可靠性模拟及混合信号芯片公司。自2013年成立以来,公司聚焦传感器、信号链、电源管理三大方向,为汽车、工业、信息通讯及消费电子等领域提供丰富的半导体产品及解决方案。
杭州士兰微电子股份有限公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:杭州
杭州士兰微电子股份有限公司坐落于杭州高新技术产业开发区,是专业从事集成电路芯片设计以及半导体微电子相关产品生产的高新技术企业。公司成立于1997年9月,总部在中国杭州。2003年3月公司股票在上海证券交易所挂牌交易,是第一家在中国境内上市的集成电路芯片设计企业。得益于中国电子信息产业的飞速发展,士兰微电子已成为国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体(IDM)的企业之一,其技术水平、营业规模、盈利能力等各项指标在国内同行中均名列前茅。
士兰微电子建在杭州钱塘新区的集成电路芯片生产线目前实际月产出达到23万片,在小于和等于6英寸的芯片制造产能中排在全球第二位。公司8英寸生产线于2017年投产,成为国内第一家拥有8英寸生产线的民营IDM产品公司,8英寸线月产能已达6万片。2023年底,公司12吋特色工艺晶圆生产线月产能已达6万片,先进化合物半导体制造生产线月产能已达14万片。
MEMS传感器:包括消费级传感器(三轴加速度计、六轴IMU单元、骨传导加速度计),车用传感器(碰撞、IMU单元、震动检测传感器),心率、血氧、ALS/RGB/PS传感器,麦克风、温湿度、电流、MEMS微镜传感器等。
上海积塔半导体有限公司
MEMS产业链:芯片代工
总部:上海
上海积塔半导体有限公司是专注于半导体集成电路芯片特色工艺的研发和生产制造基地,公司寓意为“积沙成塔、使命必达”。积塔在中国(上海)自由贸易试验区临港新片区和徐汇区建有两个厂区,已建和在建产能共计30万片/月(折合8吋计算),其中6吋7万片/月、8吋11万片/月、12吋5万片/月、碳化硅3万片/月,为汽车电子、工业控制和高端消费电子领域提供微控制器、模拟电路、功率器件、传感器等核心芯片特色工艺制造平台和技术服务。公司拥有一流的技术研发团队,以及超过30年车规级芯片制造质量管理和规模量产经验,公司现有员工3100余人。
积塔半导体已建成具有自主知识产权的电源管理芯片(PMIC)、控制器(Controller)、功率器件(IGBT、SGT、FRD、TVS等)、碳化硅器件(JBS、MOSFET)、微机电系统(MEMS)等特色工艺平台。
无锡芯感智科技股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:无锡
无锡芯感智科技股份有限公司成立于2010年3月,下辖无锡芯灵微电子、芜湖传方智能、芜湖芯硅智电子(CFSensor)三家子公司,在全国多地设有办事处,是国内领先的传感器芯片和应用方案供应商。
公司现拥有专业研发人员60余人,高层次人才占比超80%,核心成员均有10年以上行业工作经验,并与东南大学合作设立产教融合示范基地。作为一家创新型企业,芯感智半导体致力于为全球客户提供高效、专业、智能的MEMS传感器解决方案,产业链覆盖芯片设计、封装测试、模组生产、方案算法、物联网平台搭建等服务。多环节实现自主创新,自主可控。公司目前已量产压力、红外、流量、气体、转速、电流、温度七大品类传感器。产品广泛应用于汽车电子、工业控制、医疗健康、消费电子等领域。
合肥领航微系统集成有限公司
MEMS产业链:IDM、芯片代工
总部:合肥
合肥领航微系统集成有限公司是先进功能薄膜与先进MEMS传感器与执行器微系统研发制造企业, 主营业务范围为先进功能薄膜,量子核心器件与芯片,先进MEMS传感器与执行器微系统的研发与制造,同时可提供硅基MEMS传感器代工服务。
公司全面掌握先进功能薄膜生长、量子芯片设计,MEMS工艺、封测、信号处理等全链条技术,以及MEMS结构-工艺-ASIC电路协同设计、MEMS机电性能协同测试与自动化封装等方面关键技术。公司在先进功能薄膜材料设计与制备、传感器设计、复合传感器设计、传感器三维集成、传感器检测算法等方面具有完整知识产权。公司拥有8英寸先进功能薄膜制造与MEMS传感器执行器晶圆工艺线,其中先进功能薄膜晶圆制造能力可达10000片/年, MEMS传感器与执行器产能可达60000片/年。
上海迷思科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:上海
上海迷思科技有限公司是一家专注于MEMS传感器芯片研发、设计、封装测试、模块校准及销售的高科技企业,公司拥有一套自主研发的“微创手术” 工艺(MIS Process),该工艺作为新一代硅基传感器制造技术,可赋予产品成品率高、一致性好、尺寸小、性能高、成本低的综合竞争优势。公司产品覆盖多种主流MEMS传感器,面向消费、医疗、家用电器、汽车等领域的各种压力传感的应用场景,为客户提供可定制化的综合性传感器产品及服务解决方案。
迷思科技核心研发团队来自国内 MEMS 领域国家重点实验室(传感技术联合国家重点实验室), 由杰出青年、中科院百人计划专家领军,在MEMS传感器研发方面有深厚积淀, 并对 MEMS 传感器市场具有深入了解。
杭州海康威视数字技术股份有限公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:杭州
海康威视成立于2001年,是一家中国及全球领先的安防监控产业巨头。海康威视旗下子公司海康微影,主要从事MEMS传感器、红外探测器芯片研发、生产。
海康微影已经自建一条8寸MEMS生产线及封装线,具备年产晶圆一万片,探测器百万颗的生产能力。探测器产线洁净面积达到800平方米、净化级别高达10级的8英寸,拥有业界—流的集成电路设计、MEMS设计、MEMS/封装制程开发、应用成品开发及销售服务团队。
华景传感科技(无锡)有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:无锡
华景传感是一家专注于半导体MEMS传感器芯片、器件和智能传感器模块和多功能集成模组开发、生产和销售的高科技行业领军企业。拥有MEMS和ASIC双芯片技术、智能传感器模块和模组设计平台、规模化和信息化自主封测生产线。2023年被美国权威杂志:”应用科学“评为亚太地区十大传感技术企业。
公司由国际知名传感器专家缪建民博士创立,全球架构,国际芯片设计团队,在上海张江高科园区拥有MEMS和ASIC芯片设计团队、在德国慕尼黑拥有汽车ASIC研发团队,在无锡国家物联网创新园区拥有器件和智能模块研发团队和设备先进的生产测试中心,在苏州高新区拥有全数字化管控百级超净封测生产车间,在深圳、上海和北京拥有经验丰富的销售和技术支持团队。芯片采用全球代工模式,与德国、韩国和中国等地优质晶圆厂建立长期战略合作关系。
南京穹宇测控技术有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:南京
穹宇测控致力于成为中国惯性导航产品第一品牌,专注于 MEMS 和惯性测控技术。作为领先的光纤陀螺仪制造商,穹宇测控研发、设计和生产了一系列产品,包括 MEMS 加速度计、MEMS 陀螺仪、倾角仪、电子罗盘、惯性测量单元(IMU)、垂直陀螺仪、航向航姿组合导航系统以及光纤陀螺仪。 SkyMEMS 拥有关键的惯性技术,能够以极具竞争力的成本为全球客户提供灵活定制的产品和解决方案,包括用于 IMU 导航的解决方案。
恒脉微电子(南京)有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:南京
恒脉微电子长期专注于MEMS微泵、MEMS微阀、泵阀一体MEMS器件及其应用方案的研发、生产和销售。基于恒脉微的微执行器,可大大提升客户系统的集成化程度,大大降低系统体积和功耗,在医疗正压、负压领域和半导体微空间热管理领域具有独特的领先优势,致力于为全球多行业用户提供技术领先的极微型泵阀一体MEMS器件及产业化应用解决方案。
无锡北微传感科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:无锡
北微传感是一家专注惯性姿态传感器研发、制造、销售的国家高新技术企业,两次世界物联网博览会金奖获得者,国家标准起草者,是无锡市物联网产业协会理事单位、国家物联网感知装备产业计量测试联盟创始成员,拥有100余项相关知识产权,总部位于江苏省无锡市滨湖区,是无锡市惯性传感工程技术研究中心,在北京、成都、绍兴等地建有子公司。
北微传感以引领全球惯性传感器市场发展为公司愿景,专注惯性传感器模组及上游器件,自主研发北斗组合导航系统、惯性测量、航姿参考系统、光纤陀螺仪、电子罗盘、倾角传感器等智能传感器产品,可全面满足各类惯性姿态测量及高精度导航定位的需求,公司在多传感融合算法和硬件设计封装领域不断创新,服务于智能装备、自动驾驶、物联网等领域领域5000余家客户。
地球山(苏州)微电子科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:苏州
地球山(苏州)微电子科技有限公司总部位于中国苏州,是一家全球领先的MEMS设计、研发和制造的高科技企业。我们的创新技术平台正在颠覆传统扬声器的发声方式,并将引发一场产业革命,预计将带动超过1000亿美元的全球市场。
我们的数字MEMS发声芯片采用MEMS+数字音频算法技术,将声波像素化,通过半导体工艺实现在发声端的数字化。相比传统的动圈纸盆技术,我们的技术突破了传统发声原理,将音频质量提高到了一个全新的水平。地球山团队自2018年起,开始与以色列Audio Pixels合作,并不断的提高自身的研发创新能力,我们在MEMS结构、制造工艺、信号处理、音频算法和封装等领域都拥有创新突破。
无锡微视传感科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:无锡
无锡微视传感科技有限公司 位于江苏无锡锡山经济开发区,公司于2019年7月成立,是一家以MEMS芯片与应用模块开发为核心技术的高科技公司。
创始团队自2008年起开始进行MEMS芯片相关研究,并与2013年开始专注于MEMS微镜芯片及其应用模块、产品与方案的技术研究。公司推出了国产化的高性能、低成本、微型化的MEMS微镜芯片、结构光投射模组以及3D深度相机。相关产品可广泛应用于3D支付、3D机器视觉、安防、激光雷达、激光微投以及光通讯等相关领域。目前已经和国内多家行业应用领头企业展开应用合作。
开元通信技术(厦门)有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:厦门
开元通信技术(厦门)有限公司,是一家新兴的、专注于射频前端解决方案的本土芯片公司。公司总部成立于厦门市海沧区,目前在上海张江设有运营中心,并在深圳、西安及北京设有销售及客户支持中心。公司产品针对射频前端芯片,定位于移动终端、物联网等平台,以5G通信的先进射频滤波器/模组芯片市场作为黄金切入点,打造一家全球技术领先、具有中国特色、以射频滤波器业务为主的射频前端龙头企业,有效解决我国先进滤波器技术、产品长期受制于国外公司的局面。 公司研发团队主要成员拥有10年以上的中高端芯片开发及相关管理运营经验,有着丰富的工程和产品化实战经历,成功开发并量产过多款芯片产品。公司以Fablite的经营模式,以自有工艺与国内顶尖的8英寸MEMS大型代工厂进行量产合作。
西人马联合测控(泉州)科技有限公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:泉州
西人马FATRI是一家IDM模式的芯片公司,致力于为民用航空、能源、轨道交通、海洋船舶、工业、消费电子等领域打造“端-边-管-云-用”一体化系统解决方案。
西人马联合测控(泉州)科技有限公司(FATRI UTC)成立于2017年,是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地,拥有先进的研究与制造仪器。公司的科学家和工程师团队拥有芯片、材料和传感器的研发、设计、制造、封装和测试的全方位能力。公司位于福建省泉州市洛江区,占地70亩,建筑面积20000㎡,拥有各类先进的MEMS芯片、功能材料芯片及传感器的封装与测试设备,具有强大的生产能力以及满足客户个性化需求的定制能力。目前客户主要集中在能源、民用航空、轨道交通、精密仪器、工业自动化、物联网等领域,同时为全球客户提供MEMS芯片的OEM、ODM服务。公司凭借规范的生产管理,为客户提供高品质、高良率、高效率的服务。
广州增芯科技有限公司
MEMS产业链:芯片代工
总部:广州
广州增芯科技有限公司由广州湾区智能传感器产业集团有限公司发起,于2021年4月在广州正式成立,注册资本为68.2亿元人民币,主营业务是集成电路制造及研发设计服务,目前正在建设以传感器及配套专用ASIC芯片为主要产品的12英寸晶圆制造产线。
增芯科技定位为国内第一家专业定制化12英寸传感器晶圆厂,针对智能化、微型化等物联网应用领域中的核心器件(如力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套ASIC芯片等),打造集研发、量产制造、封测与应用一体的先进制造平台,产品包括三大类工艺产品MEMS、BCD及逻辑工艺,对广州市及广东省的集成电路产业发展具有重要意义。
增芯科技按照“一次规划、分步实施”原则,计划用5年时间投资370亿元,在广州市增城区建设两座智能化晶圆厂,总产能达到12万片/月。其中,增芯项目第一座晶圆厂(FAB1)分两期,第一期产能2万片/月,总投资70亿元;第二期产能4万片/月,总投资100亿元;第二座晶圆厂(FAB2)为第三期,产能6万片/月,总投资200亿元。第一座晶圆厂预计2026年满产,第二座晶圆厂预计2027年满产。
广州奥松电子股份有限公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:广州
广州奥松电子股份有限公司创立于2003年,坐落于广州开发区科学城,是应用MEMS半导体工艺技术生产传感器特色芯片的国家级专精特新“小巨人”企业,也是MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链(简称IDM)企业,面向全国提供全方位服务的一站式MEMS特色芯片解决方案。公司主营产品有温湿度传感器、流量传感器、压力传感器、气体传感器、光学传感器、磁传感器、红外传感器、真空传感器、水蒸气传感器、颗粒物传感器、粒子探测器、各类变送器。
瑞声声学科技(深圳)有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:深圳
瑞声科技是感知体验解决方案的领导者,以打造感官体验技术的未来为企业目标。瑞声科技坚持技术创新,我们与国内外终端客户建立了战略合作关系,在声学、光学、触感、传感器及半导体、精密制造等领域拥有强大的综合竞争力。在传感器领域,瑞声科技是全球主要MEMS麦克风厂商,中国半导体MEMS十强企业之一。
深圳安培龙科技股份有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:深圳
深圳安培龙科技股份有限公司是一家集智能传感器研发、制造、销售、服务为一体的第一批国家专精特新“小巨人”企业,主要产品包括压力传感器、氧传感器、温度传感器、PTC热敏电阻器、NTC热敏电阻器、力矩传感器,产品广泛应用于汽车、机器人、智能家居、光伏、储能、充电桩、物联网、消费类电子、航空航天、工业控制等领域,主要客户有比亚迪、STELLANTIS、上汽集团、美的集团、伊克莱斯、法雷奥、麦格纳、凌云股份、华为、三星、格力、海尔等诸多国内外知名企业,销售网络遍及全球几十个国家和地区。
东莞市瑞勤电子有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:东莞
东莞市瑞勤电子有限公司自2011年创立以来,已逐渐发展成为电声元器件领域的领军企业,其产品线包括微型麦克风、MEMS麦克风、开关传感器、压力传感器、麦克风阵列模组、Type-C接头SMT和车载电子模组块等,这些产品广泛应用于移动通讯设备、笔记本电脑、军工通讯、个人数码产品以及汽车电子等领域,年产值稳居国内同行业前列。
深圳市海谱纳米光学科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:深圳
海谱纳米是一家专注于高光谱MEMS传感器芯片设计、工艺开发和生产的半导体芯片科技企业,由国际顶尖MEMS专家、欧洲航天局专家、孔雀人才所创立。核心技术在该图像传感器领域世界领先,取得国内高端MEMS传感器的首次突破,解决卡脖子技术。获评深圳第一批潜在科技独角兽企业、美国机器视觉行业唯一白金奖、深圳传感器示范性企业,获得国内外奖项无数。
高光谱图像传感器是一项颠覆性技术,拍照即可检测物质的成分,解决了物理世界中成分无法数字化的世界难题,是视觉AI革命性创新,已被欧美誉为未来重大技术创新之一。
精智未来(广州)智能科技有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:广州
精智未来(广州)智能科技有限公司是由耶鲁大学博士后、密歇根大学博士王俊奇于2021年归国创立的呼气检测领域领军企业,是国家级高新技术企业、首批颠覆性技术创新基金投资项目、“国家颠覆性技术创新专项”承担单位。
公司依托自主研发的“微机电(MEMS)+微流控(Microfluidic)+人工智能(AI)”融合技术,成功推出全球首款芯片化呼气分子分析微型气相色谱仪,可实现对人体呼气中挥发性有机物(VOC)进行精准的定性和定量分析,检测灵敏度达ppt级(万亿分之一),突破国际垄断,实现呼气代谢组学检测设备的床旁化、智能化和低成本化,目前已获国家二类医疗器械认证并率先落地体检中心及社区健康场景。
河北美泰电子科技有限公司
MEMS产业链:IDM企业
总部:石家庄
河北美泰电子科技有限公司致力于提供MEMS智能传感器系统解决方案,是国家首批专精特新重点“小巨人”企业,中国MEMS十强企业,IC独角兽企业,中国MEMS行业协会副理事长单位,中国传感器与物联网产业联盟副理事长单位,中国汽车芯片产业创新战略联盟理事单位。历经30年技术和产业沉淀,美泰公司形成了MEMS惯性器件与系统、MEMS传感器、射频(RF)MEMS器件三大类优势产品,产品性能达到国际先进水平,广泛应用于汽车智驾,车身域控制,安全气囊,线控底盘,无人机,eVOTL,人形机器人,轨道交通,通信,卫星互联网,航空航天和各类无人系统等。
武汉飞恩微电子有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:武汉
武汉飞恩微电子有限公司是致力于为汽车、物联网、智能家居及工业控制行业提供MEMS传感器及系统产品的高新技术企业。基于工艺应力模型封装技术和高效批量标定测试算法,公司建立了数条全球领先的单件流全自动化生产线,产品已覆盖整车所有压力传感器应用,已实现数千万只汽车前装配套。
武汉敏声新技术有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:武汉
武汉敏声新技术有限公司(MEMSonics)由武汉大学工业科学研究院孙成亮教授联合14名国际知名业内专家共同创立。公司以射频滤波器为拳头产品,同时覆盖压电式麦克风以及压电超声传感器芯片,致力于打造成一家集设计、生产和销售于一体的企业。公司具备完整的自主知识产权,已经注册百余项专利,建立了多维度多层次的专利壁垒。关于武汉敏声相关介绍参看宁波78亿纺织机巨头跨界并购一家国产MEMS芯片公司,停牌前暴涨32%!
重庆金芯麦斯传感器技术有限公司
MEMS产业链:Fabless企业
总部:重庆
重庆金芯麦斯传感器技术有限公司(曾用名:重庆四联传感器技术有限公司)创立于2020年1月,是一家从事基于MEMS技术的半导体传感器芯片及终端产品的研发、生产和销售的高科技企业。公司总部位于重庆两江新区龙兴工业园,产品服务于工业制造、汽车、医疗、石油、化工、冶金等国民经济支柱产业以及物联网传感器技术领域。
公司致力于在国内实现自主MEMS压力传感器芯片在研发、制造等方面的连续化、系统化、产业化发展,填补国内中高端MEMS压力传感器芯片空白,实现压力传感器芯片核心技术自主可控。